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3參數(shù)
類別
規(guī)范
含量(TMAH)，%
2.38±0.01
色度Hazen，max
10
過濾器
經(jīng)0.1μm濾器過濾
雜質(zhì)最高含，ppb
---
鈉(Na)
鉀(K)
鎂(Mg)
鈣(Ca)
鐵(Fe)
鎳(Ni)
銅(Cu)
鉛(Pb)
錳(Mn)
鋅(Zn)
鉻(Cr)
銀(Ag)
顆粒,(個/ml)
≥0.5μm，x
50
